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      2. 在線膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

        價格
        電議

        型號
        R&D-TFM

        品牌

        所在地
        廣東省 深圳市

        更新時間
        2019-02-04 10:50:02

        瀏覽次數(shù)

          Opsensing與R&D公司共同開發(fā)了提供不同行業(yè)的R&D-TFM光譜儀及標準軟件??捎梅秶薝V可見光及紅外線光譜范圍(200~2000nm),有多種形態(tài)的測試,在此軟件下執(zhí)行包含了:

          • 膜厚測試:以Fourier algorithm 量測
          • Fitting routines 曲線逼近方式,薄膜量測
          • 顏色分析:可見光光譜儀
          • 峰值尋找module
          • 多層膜厚FIT測試
          • 可見光平均穿透率檢測
          • 量測厚度可由50nm-2000um  (使用不同光譜波長),規(guī)格如下:

           

           

          No.

          Version

          ThicknessRange

          Accuracy

          Resolution

          1.0

          VIS(0.1-30)

          0.1-30 μm

          0.01 μm(0.1-1 μm range)

          0.04 μm(1-30 μm range)

          0.002(0.1-1 μm range)

          0.008(1-30 μm range)

          1.1

          VIS(4-120)

          4-120 μm

          0.15 μm

          0.03 μm

          1.2

          VIS(40-1200)

          40-1200 μm

          1.0 μm

          0.2 μm

          1.3

          NIR (1-30)

          1-30 μm

          0.05 μm

          0.01 μm

          1.4

          NIR (4-120)

          4-120 μm

          0.2 μm

          0.04 μm

           

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