Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡專為8寸晶圓及大面板LCD/TFT產業(yè)開發(fā)設計。同樣采用的CFI60無窮遠高對比度光學系統(tǒng)將尼康的CF(消色差)設計與無限遠光學系統(tǒng)結合在一起,使得物鏡不僅工作距離更長,而且數(shù)值孔徑更高,并提供高達25mm的廣闊視野。
Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡的特點:
一, 可以觀察的大硅片直徑為200mm,觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
二, 物鏡齊焦距離為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求;
三, 主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
四, 光亮調節(jié)、光闌調節(jié)、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞;
五, 可以與尼康的硅片輸送機配合使用,提高硅片檢測效率。
六, <微分干涉套> 全體物鏡共用物鏡轉換器內的諾曼斯基棱鏡,結構簡單,成象質量高。
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D規(guī)格
調焦機構
行程29mm粗調12.7mm/轉,
微調0.1mm/轉 1μm/格
反射照明器
12V100W鹵素燈;電動孔徑光闌(中心可調)
固定型視場光闌;可選配小孔光闌
透射照明器
(僅L200D)
12V100W鹵素燈;內置式孔徑光闌;
LWD聚光器
物鏡轉換器
固定式六孔物鏡轉換器(電動),具有DIC插槽。
目鏡筒
寬視場可傾式三目鏡筒
載物臺
8X8載物臺(205X205mm)(透射50X150mm)
粗微移動可以互相轉換,X-Y方向微動手柄位置固。
目鏡
CFI目鏡系列
物鏡
CFI LU/L PLAN系列
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Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡專為8寸晶圓及大面板LCD/TFT產業(yè)開發(fā)設計。同樣采用的CFI60無窮遠高對比度光學系統(tǒng)將尼康的CF(消色差)設計與無限遠光學系統(tǒng)結合在一起,使得物鏡不僅工作距離更長,而且數(shù)值孔徑更高,并提供高達25mm的廣闊視野。
Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡的特點:
一, 可以觀察的大硅片直徑為200mm,觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
二, 物鏡齊焦距離為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求;
三, 主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
四, 光亮調節(jié)、光闌調節(jié)、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞;
五, 可以與尼康的硅片輸送機配合使用,提高硅片檢測效率。
六, <微分干涉套> 全體物鏡共用物鏡轉換器內的諾曼斯基棱鏡,結構簡單,成象質量高。
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D規(guī)格
調焦機構
行程29mm粗調12.7mm/轉,
微調0.1mm/轉 1μm/格
反射照明器
12V100W鹵素燈;電動孔徑光闌(中心可調)
固定型視場光闌;可選配小孔光闌
透射照明器
(僅L200D)
12V100W鹵素燈;內置式孔徑光闌;
LWD聚光器
物鏡轉換器
固定式六孔物鏡轉換器(電動),具有DIC插槽。
目鏡筒
寬視場可傾式三目鏡筒
載物臺
8X8載物臺(205X205mm)(透射50X150mm)
粗微移動可以互相轉換,X-Y方向微動手柄位置固。
目鏡
CFI目鏡系列
物鏡
CFI LU/L PLAN系列