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MEMS壓力傳感器的兩種校準(zhǔn)方法該如何選擇？

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，測量儀器的價值由其準(zhǔn)確性決定。壓力傳感器也算是一種測量“儀器”，在汽車、醫(yī)療保健、工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。在這些應(yīng)用中，保證壓力傳感器的準(zhǔn)確性對確保質(zhì)量控制、保證病人生命安全來講至關(guān)重要。

壓阻式壓力傳感器，具有快速響應(yīng)、堅固耐用、量程范圍寬、溫度變化對壓力輸出影響小、準(zhǔn)確度高等優(yōu)點，成為了當(dāng)下測量儀器的流行選擇。但是，只要傳感器出現(xiàn)了均勻性問題、與溫度相關(guān)的誤差，那么就需進行校正或補償。

壓力傳感器的補償方法有兩種：主動式補償和被動式補償。被動式補償是通過在電阻的制造過程中對其進行修正完成，適用于工作在溫度變化小的環(huán)境下的壓力傳感器。對于溫度變化較大的環(huán)境，通過采用板載電路或微控制器來進行主動式補償。

這時，壓力傳感器周圍環(huán)境的溫度也需要通過溫度傳感器進行定期測量。再安裝到板載電路上，以校正與溫度相關(guān)的誤差（也稱為偏移量誤差，英文：offset）。這樣確保了壓力傳感器的溫度誤差接近于零，工作量程更寬，質(zhì)量更佳。

壓力傳感器的校準(zhǔn)方法該如何選擇？

壓力傳感器的校準(zhǔn)方法有兩種：（1）客戶自己對生產(chǎn)線中使用的壓力傳感器進行校準(zhǔn)；（2）壓力傳感器制造商進行充分的補償，將預(yù)先校準(zhǔn)過的傳感器交由客戶進行后續(xù)的集成。

客戶希望自己完成校準(zhǔn)的緣由有很多。原因是客戶在*終成品中已安裝了微控制器，這種情況下，主動式校準(zhǔn)可以通過微控制器完成。

客戶采用的傳感器封裝或組裝工序可能會將大量應(yīng)力施加于壓力傳感器上。當(dāng)這種情況發(fā)生時，已經(jīng)校準(zhǔn)的壓力傳感器將因受到封裝工序的應(yīng)力而產(chǎn)生額外的壓力顯示。增加的壓力將產(chǎn)生新的零點。

客戶自己做校準(zhǔn)的缺點是在線校準(zhǔn)很難執(zhí)行，并且它可能是高度破壞性的。購買已經(jīng)校準(zhǔn)過的傳感器要比在線校準(zhǔn)所花費的*設(shè)備和經(jīng)驗成本要低一些。*致命的缺點是客戶自己做校準(zhǔn)會浪費很多時間。因為每顆傳感器都需要單獨校準(zhǔn)，不可能進行批量校準(zhǔn)。此外，校準(zhǔn)所需的溫度范圍意味著設(shè)備需要很長的時間才能達到所需的溫度極限。

從如Merit Sensor之類的制造商購買完全補償?shù)膲毫鞲衅鳎瑑r格比未做補償?shù)膫鞲衅髻F一些。但是，重要的是要權(quán)衡各方面因素，時間就是金錢，如果花費太多時間在校準(zhǔn)上，購買已經(jīng)完全補償?shù)膲毫鞲衅骰蛘呖梢院唵蔚夭迦胧褂玫男?zhǔn)元器件則不失為一種不錯的選擇！

這對于那些希望得到高產(chǎn)出的公司來說是理想的選擇，尤其是那些沒有設(shè)備、*技能和流程來保證在線校準(zhǔn)的公司。通常來講，壓力傳感器制造商有*校準(zhǔn)人員、工具和*知識來完成校準(zhǔn)。

Merit Sensor提供的定制化解決方案

LP系列是Merit Sensor公司為低壓力應(yīng)用提供的壓力傳感器，涉及各種量程范圍。這種類型的傳感器很適合用于如持續(xù)氣道正壓通氣（C）機的應(yīng)用，因為該系列適合使用非腐蝕性氣體。LP系列提供了預(yù)校準(zhǔn)的選項，這意味著壓力傳感器可立即用于醫(yī)療使用。也同樣適用于工業(yè)應(yīng)用，以及醫(yī)療保健應(yīng)用的空氣過濾系統(tǒng)和肺活量測量。

Merit Sensor推出的PMD系列適用于中低壓力的應(yīng)用。PMD系列適用于空氣和其他非腐蝕性液體。該系列還能夠測量差壓、*壓力和真空度。PMD系列是打印機中油墨液位*理想的壓力傳感器選擇，可工作在0.34~3.5大氣壓力范圍內(nèi)。在這項應(yīng)用中，因為使用了外部微處理器，校準(zhǔn)快速且直接。無補償?shù)?/FONT>PMD系列也是非常受歡迎的產(chǎn)品。