PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)，采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理，將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機(jī)配有一個(gè)直連式雙旋真空泵，可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。

1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開(kāi)啟等。
2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì)，可以地控制進(jìn)氣流量。