非接觸式三維測量儀

采用激光非接觸式測量，適用于多種材料和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的樣品的三維測量設(shè)備。

NH系列是由高測量度的激光自動對焦顯微鏡，以及高精密度的XYZ載臺所構(gòu)成。如圖所示，被射入顯微鏡鏡頭的激光穿過物鏡后聚焦于光軸中心之處，接著反射于工件表面再穿過物鏡后成像于AF傳感器之上。由于失焦時，激光光點會于傳感器上產(chǎn)生位置變化，使得傳感器能捕捉到此位置變化，并利用AF驅(qū)動機(jī)制將物鏡定位于聚焦處。進(jìn)行形狀測量時，會利用自動XY載臺掃描工件，取得所聚焦各點之XYZ值。以這樣的方式進(jìn)行作業(yè)，工件表面的顏色或反射率等不僅不會受到影響，并且可達(dá)到大范圍的高精度測量。

主要精度：

XY分解能：0.01μm

Z分解能：0.001μm

XY測定範(fàn)囲：150mm

Z測定範(fàn)囲：10mm

應(yīng)用實例：