一、功能介紹：

適用于半導(dǎo)體材料企業(yè)、科研、高等校及實(shí)驗(yàn)室分析半導(dǎo)體材料縱向電阻率；可測量橫截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率，試樣長度與截面尺寸之比應(yīng)不小于3:1；配置測量平臺，正反向電流測量模式；液晶顯示，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動選擇，可選購PC軟件實(shí)時數(shù)據(jù)和報(bào)表管理；提供中文或英文兩種語言操作界面選擇.

二.參照標(biāo)準(zhǔn)：

FT-300TZ兩探針電阻率測試儀

GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法；

SEMI MF 397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>

三、參數(shù) 資料

1.電阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm
2.電 阻：10^-7～2×10^7Ω

3.電導(dǎo)率：5×10^-7～10^7s/cm

4.分辨率： 0.1μΩ 測量誤差±（0.05%讀數(shù)±5字）

5.測量電壓量程： 2mV   20mV  200mV 2V 測量精度±（0.1%讀數(shù)）

6.分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV

7.電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續(xù)可調(diào)，
量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA, 誤差：±0.2%讀數(shù)±2字

8.顯示方式：液晶顯示：電阻值、電阻率、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算、橫截面、高度、電流、電壓等.

9.溫度要求：23℃±1℃

10.電源：220±10% 50HZ/60HZ

11. 測量平臺參數(shù)如下：

1）.可測硅芯、檢驗(yàn)棒尺寸：直徑4~22㎜ （其他規(guī)格可定制）

2）.探針頭探針與試樣接觸位置重復(fù)，無橫向移動。

3）.兩探針測試探針。探頭間距1.59mm（其他規(guī)格可定制）；探針機(jī)械游率：±0.3%。

4）.探針直徑0.8㎜；探針壓力6-12N，探針材料：鎢針，

5）.探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于10⁹歐

12.標(biāo)配外選購項(xiàng)：a.pc軟件1套；b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1件；c.電腦和打印機(jī)

FT-300TZ兩探針電阻率測試儀