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      2. Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100

        價格
        ¥2,000,000.00

        型號
        Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100

        品牌
        Hakuto

        所在地
        廣東省 深圳市

        更新時間
        2022-12-09 12:42:04

        瀏覽次數(shù)

          Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 均勻度 < ±5%, 刻蝕速率 >10 nm/min, 具有高冷卻效果.

          所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量.

          占用空間小, 容易維護和用戶操作友好.



          Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢:

          1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量

          2. 盒式房間采用高效微粒過濾器

          3. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

          4. 占用空間小

          5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人

          6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

          7. 高冷卻效果

          8. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

          9. 容易維護這個系統(tǒng)設計重點是容易維護和用戶友好

          10. 關鍵部件服務伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具


          Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數(shù):

          Model MEL3100 Main body
          Wafer size 3"~6" Power
          Supply
          AC200V 3ph 40A
          Wafer per batch 1 wafer *two lines
          Cassette No. 25 wafers Cooling
          Water
          15 (l/min)
          Q'ty 1pc. <20℃
          Throughput 10 (wafer/hr) *1 CDA 0.5 (MPa)
          Pressure Ultimate 8×10-5 (Pa) *2 >10 (l/min)
          Process 2×10-2 (Pa) *2 N2 0.2 (MPa)
          Etching Rate >10 (nm/min)@SiO2 *3 >40 (l/min)
          Uniformity ±5%@132mm (6") *3 Ar 0.2 (MPa)
          Wafer surface temp. <100℃ *3 20 (sccm)
          Stage rotating 1~20 (rpm) ±5% He 0.2 (MPa)
          Stage tilting ±90°±0.5° 20 (sccm)
          Dimension
          W×D×H (mm)
          Main body 1,600×2,175×1,900 *need additional utilities
          for Dry pump
          Controller 640×610×1,900
          Chiller 555×515×1,025
          Weight (kg) Main body 1,700
          Controller 200
          Chiller 100
          *1: Estimated process time 5min
          *2: No wafer on stege / process chamber
          *3: Depending on process



           

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          T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
          F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
          M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
           
          www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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