Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 均勻度 < ±5%, 刻蝕速率 >10 nm/min, 具有高冷卻效果.
所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量.
占用空間小, 容易維護和用戶操作友好.
1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量
2. 盒式房間采用高效微粒過濾器
3. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率
4. 占用空間小
5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人
6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上
7. 高冷卻效果
8. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機
9. 容易維護這個系統(tǒng)設計重點是容易維護和用戶友好
10. 關鍵部件服務伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具
Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數(shù):
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 均勻度 < ±5%, 刻蝕速率 >10 nm/min, 具有高冷卻效果.
所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量.
占用空間小, 容易維護和用戶操作友好.
Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢:
1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量
2. 盒式房間采用高效微粒過濾器
3. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率
4. 占用空間小
5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人
6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上
7. 高冷卻效果
8. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機
9. 容易維護這個系統(tǒng)設計重點是容易維護和用戶友好
10. 關鍵部件服務伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具
Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數(shù):
Supply
Water
W×D×H (mm)
for Dry pump
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T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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