高頻氬放電氣相色譜儀高純氬色譜分析儀aid氬離子檢測(cè)器高純氣體適用于高純氣體、高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。高純氬氣色譜儀配備氬離子化(AID)檢測(cè)器，采用帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥。上述部分與純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。

高頻氬放電氣相色譜儀高純氬色譜分析儀aid氬離子檢測(cè)器高純氣體的性能特點(diǎn)

1.采用4.3英寸觸屏液晶中文顯示，各路溫度、操作條件實(shí)時(shí)顯示，
2.開機(jī)自檢，五路獨(dú)立控溫；
3.任一路傳感器斷路，儀器自動(dòng)顯示報(bào)警；
4.高精度雙重穩(wěn)定氣路，*多可同時(shí)安裝四種檢測(cè)器；
5.四路外部事件功能支持多閥切換；
6.可選配電子流量壓力顯示系統(tǒng)及內(nèi)置工作站裝置；

載氣純化器

控溫范圍：室溫+5℃～500℃

控溫精度：±0.2度

可純化氣體：惰性氣體

總線大操作壓力：2Mpa

去除氣體：H2、O2、CO、CO2、CH4、H2O等

殘留濃度：≤20ppb

高頻氬放電氣相色譜儀高純氬色譜分析儀aid氬離子檢測(cè)器高純氣體的技術(shù)指標(biāo)

開機(jī)穩(wěn)定時(shí)間：＜1小時(shí)

控溫精度：±0.1℃

基線噪音：≤0.03mv

基線漂移：≤0.2mv/30min

氬離子化檢測(cè)器（AID）：

1.檢測(cè)目標(biāo)：高純氬中雜質(zhì)

2.檢測(cè)限：0.1ppm（以氮計(jì)）

3.線性范圍：102