一維小體積式工作臺
該系列小體積大行程工作臺通過特殊的放大機構設計，可實現(xiàn)小體積大行程的運動，大可實現(xiàn)X方向400μm的運動。采用柔性鉸鏈機構作為導向機構，這種無摩擦柔性鉸鏈機構提供了高的精度以及很高的快速響應時間，快速定位響應時間僅需要幾毫秒，適合動態(tài)與靜態(tài)的應用。
主要參數(shù)
MPT-1SNL080
MPT-1SNL120
MPT-1SNL160
MPT-1SNL400
MPT-1SRL080
MPT-1SRL120
MPT-1SRL160
MPT-1SRL400
運動自由度
X
行程范圍 (μm±10%)
80
120
160
400
位移分辨率 (nm)
8
12
16
40
重復定位精度 (nm)
-
運動方向大推力 (N)
30
90
運動方向大拉力 (N)
5
15
20
運動方向剛度 (N/μm)
0.6
0.02
重量 (g±5%)
75
100
250
工作電壓 (V)
0～150
工作溫度范圍 (℃)
-20～80
外型尺寸 A×B×C (mm)
34×36.5 ×24
34×46.5 ×24
34×54.5 ×24
52×74 ×24
安裝尺寸 D×E (mm)
10×12
20×12
25×12
30×10
安裝尺寸 F×G (mm)
10×10
35×12
安裝尺寸 H (mm)
10
運動部分 M×N (mm)
23.7×21
25.7×21
31.7×21
50.2×21
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-1CR0150
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京公網安備 11010802023672號
一維小體積式工作臺
該系列小體積大行程工作臺通過特殊的放大機構設計，可實現(xiàn)小體積大行程的運動，大可實現(xiàn)X方向400μm的運動。采用柔性鉸鏈機構作為導向機構，這種無摩擦柔性鉸鏈機構提供了高的精度以及很高的快速響應時間，快速定位響應時間僅需要幾毫秒，適合動態(tài)與靜態(tài)的應用。
主要參數(shù)
MPT-1SNL080
MPT-1SNL120
MPT-1SNL160
MPT-1SNL400
MPT-1SRL080
MPT-1SRL120
MPT-1SRL160
MPT-1SRL400
運動自由度
X
X
X
X
X
X
X
X
行程范圍
(μm±10%)
80
120
160
400
80
120
160
400
位移分辨率
(nm)
8
12
16
40
8
12
16
40
重復定位精度
(nm)
-
-
-
-
80
120
160
400
運動方向大推力
(N)
30
90
120
8
30
90
120
8
運動方向大拉力
(N)
5
15
20
-
5
15
20
-
運動方向剛度
(N/μm)
0.6
0.6
0.6
0.02
0.6
0.6
0.6
0.02
重量
(g±5%)
75
100
120
250
75
100
120
250
工作電壓
(V)
0～150
0～150
0～150
0～150
0～150
0～150
0～150
0～150
工作溫度范圍
(℃)
-20～80
-20～80
-20～80
-20～80
-20～80
-20～80
-20～80
-20～80
外型尺寸 A×B×C
(mm)
34×36.5
×24
34×46.5
×24
34×54.5
×24
52×74
×24
34×36.5
×24
34×46.5
×24
34×54.5
×24
52×74
×24
安裝尺寸 D×E
(mm)
10×12
20×12
25×12
30×10
10×12
20×12
25×12
30×10
安裝尺寸 F×G
(mm)
10×10
10×10
10×10
35×12
10×10
10×10
10×10
35×12
安裝尺寸 H
(mm)
10
10
15
-
10
10
15
-
運動部分 M×N
(mm)
23.7×21
25.7×21
31.7×21
50.2×21
23.7×21
25.7×21
31.7×21
50.2×21
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-1CR0150