一維直驅式工作臺
該系列微動工作臺通過柔性鉸鏈機構對壓電陶瓷進行直接驅動以實現無間隙無耦合的微位移傳動,具有沿X軸方向的一維運動,行程從10μm至50μm。該系列微動臺可集成電阻應變片以實現高精度閉環(huán)控制,并可根據客戶需求定制更小尺寸的微動臺
主要參數 (nm)
MPT-1DN/RL010
MPT-1DN/RL025
MPT-1DN/RL050
運動自由度
X
行程范圍 (μm±10%)
10
25
50
位移分辨率 (nm)
1
2.5
5
重復定位精度 (nm)
-/10
-/25
-/50
運動方向大推力 (N)
1000
運動方向大拉力 (N)
30
70
100
大負載 (Kg)
1.5
固有頻率 (Hz)
1450
900
400
重量 (g±5%)
200
280
700
工作電壓 (V)
0~150
工作溫度范圍 (℃)
-20~80
外型尺寸 A×C (mm)
60×50
80×70
100×90
外型尺寸 K×J (mm)
22×24.5
23×26.5
運動部分 B×D (mm)
30×30
45×45
70×70
運動部分 E×F (mm)
22×22
38×38
60×60
運動部分 G (mm)
27.5
40
48
安裝尺寸 M×L (mm)
4.5×8
4.5×10
安裝尺寸 I
M4
開環(huán)工作臺匹配電源型號:HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號:PPC-1CR0150
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一維直驅式工作臺
該系列微動工作臺通過柔性鉸鏈機構對壓電陶瓷進行直接驅動以實現無間隙無耦合的微位移傳動,具有沿X軸方向的一維運動,行程從10μm至50μm。該系列微動臺可集成電阻應變片以實現高精度閉環(huán)控制,并可根據客戶需求定制更小尺寸的微動臺
主要參數 (nm)
MPT-1DN/RL010
MPT-1DN/RL025
MPT-1DN/RL050
運動自由度
X
X
X
行程范圍
(μm±10%)
10
25
50
位移分辨率
(nm)
1
2.5
5
重復定位精度
(nm)
-/10
-/25
-/50
運動方向大推力
(N)
1000
1000
1000
運動方向大拉力
(N)
30
70
100
大負載
(Kg)
2.5
2.5
1.5
固有頻率
(Hz)
1450
900
400
重量
(g±5%)
200
280
700
工作電壓
(V)
0~150
0~150
0~150
工作溫度范圍
(℃)
-20~80
-20~80
-20~80
外型尺寸 A×C
(mm)
60×50
80×70
100×90
外型尺寸 K×J
(mm)
22×24.5
22×24.5
23×26.5
運動部分 B×D
(mm)
30×30
45×45
70×70
運動部分 E×F
(mm)
22×22
38×38
60×60
運動部分 G
(mm)
27.5
40
48
安裝尺寸 M×L
(mm)
4.5×8
4.5×8
4.5×10
安裝尺寸 I
M4
M4
M4
開環(huán)工作臺匹配電源型號:HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號:PPC-1CR0150