SMC高性能溫控器(帶變頻器)@SMC排氣潔凈器

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冷凍式溫控器 ? HRZ
高性能溫控器(帶變頻器)
?	系列/ CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液 HRZ? -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液 清水 去離子水(純水) 乙二醇 水溶液 特長 在HRZ系列高性能的基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了省能化。 兼?zhèn)鋸V泛的溫度調節(jié)范圍和冷卻能力范圍。 適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。

水冷卻式溫控器 ? HRW
高性能溫控器(水冷卻式)
?	系列/ CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液 HRW? 20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷卻式 氟素化液 清水 去離子水(純水) 乙二醇 水溶液 特長 可以與工廠內循環(huán)用水直接進行熱交換。 適用于無需冷凍設備調溫的場合。 溫度穩(wěn)定性高、溫度調節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信性能，多用于半導體工藝設備。 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。 可選擇帶變頻器類型。

帕耳帖式溫控器? HEC
高精度溫控器
?	系列/ CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液 HEC? 10～60℃ 230W ±0.01～ 0.03℃ 帕爾貼式 空冷卻式 清水 600、1200W ±0.01～ 0.03℃ 帕爾貼式 水冷卻式 清水 氟素化液 特長 用于高精度的溫度控制。 用帕爾貼式元件可實現無氟里昂高精度溫度控制。 結構簡單，可靠性高。 小型、低震動，容易組裝。 可用于寬泛的電源電壓下。 符合UL標準、CE規(guī)格。

SMC高性能溫控器(帶變頻器)@SMC排氣潔凈器

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