ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵PRC-012A

發(fā)布時間：2025/04/27 18:29:59 發(fā)布廠商：深圳市京都玉崎電子有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺

特征

可以將在高溫區(qū)域進(jìn)行熱等溫CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。 “型號
：UR”可以達(dá)到比“型號：HR”更高的溫度。
配備氦氣密封
罐裝電機(jī)，具有氣密結(jié)構(gòu)，極其安全。
瞬間停電對策
采取長達(dá)1000毫秒的瞬間停電對策。
優(yōu)良的耐腐蝕性
：主要部件均采用標(biāo)準(zhǔn)的特殊表面處理，具有較高的表面硬度和優(yōu)良的耐腐蝕性。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能：
可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用軟件和計算機(jī)通信，可以實現(xiàn)集中監(jiān)控。

應(yīng)用

CVD設(shè)備
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
ALD、ALH 等。

規(guī)格

模型			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
所用泵		分配資源計劃	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		甲基溴化銨	-	-	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
* 抽速?	50赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	62(1030)	112（1860年）	359（5,980）	653(10,900)	1,012(16,900)
	60赫茲	立方米^/小時（升/分鐘）	80(1333)	126（2100）	365（6,080）	701(11,700)	1,051(17,500)
極限壓力		爸爸	5		0.67?????
*進(jìn)氣壓力（吸入壓力）		?	大氣壓*1
*排氣壓力（排氣壓力）		爸爸	1~大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）			VG50(KF50)	VG80(KF50)	VG80(KF80)		VG100(KF100)
排氣口			KF40
大量的		公斤	180	245	275	370	420
力量	三相	交流電壓(赫茲)	200(50/60), 220(60)
當(dāng)前值	處于穩(wěn)定狀態(tài)	一個	7.1 （200V時）	11.2 （200V時）	7.8 （200V時）	12.9 （200V 時）	15.4 （200V時）
	*限度	一個	7.3 （200V時）	11.8 （200V時）	8.1 （200V時）	13.8 （200V 時）	18.9 （200V 時）
冷卻水壓力		兆帕	0.1~0.3
冷卻水進(jìn)/出水壓差		兆帕	>0.1
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
氮氣吹掃	軸	空間光調(diào)制器	5
	汽油	空間光調(diào)制器	0~45

現(xiàn)貨

原裝

供應(yīng)

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