北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 CMP設(shè)備 F-REX
型號(hào) F-REX
高利用率、高吞吐量、高生產(chǎn)率的 CMP 設(shè)備
干進(jìn)/干出
*的工藝性能
高吞吐量
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
多級(jí)化學(xué)清洗
拋光終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器(可選)
在線膜厚測(cè)量?jī)x(可選)
功能多樣,設(shè)備配置靈活
兼容 SEMI-S2/CE 標(biāo)志
產(chǎn)品介紹
F-REX 型是一種安裝在潔凈室上的 CMP 系統(tǒng),可對(duì)晶圓表面進(jìn)行化學(xué)和機(jī)械拋光。 它具有經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗(yàn)證的高可靠性和*的工藝性能,可以以多種方式進(jìn)行配置以滿足所需的規(guī)格。 雙模塊化設(shè)計(jì),工藝腔室之間沒(méi)有相互污染。 即使一個(gè)模塊停止,也可以自動(dòng)切換到與另一個(gè)模塊一起運(yùn)行,并且在發(fā)生維護(hù)或故障時(shí)無(wú)需停止設(shè)備,從而實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率。 此外,雙模塊系統(tǒng)可通過(guò)單個(gè)單元實(shí)現(xiàn)多流程處理。 我們不僅為大規(guī)模生產(chǎn)提供*設(shè)備配置,還為實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)應(yīng)用提供*設(shè)備配置。
北崎8年,日本會(huì)社20年,專注領(lǐng)域如下:
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛(ài)安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫(xiě)速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)
溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。