XP-703DⅢ

半導(dǎo)體材料氣體檢測

檢測對象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

檢測原理

熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體制造

可檢測微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏，可對半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場所進(jìn)行泄漏檢測，

也可對氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。

01.產(chǎn)品特點(diǎn)

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏

·  適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)

·  搭載的泵有自動(dòng)停止功能

·  搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能

·  保護(hù)等級約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時(shí)

02.產(chǎn)品用途

·  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

·  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測

03.產(chǎn)品參數(shù)

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）