江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

江崎供應(yīng)日本RYOKOSHA激光顯微鏡LEXT OLS5000

顯微鏡/觀察裝置

（1）     激光顯微鏡

激光顯微鏡/ 3D測(cè)量激光顯微鏡

奧林巴斯

激光顯微鏡LEXT OLS5000   

通過(guò)安裝405nm激光器，它是一種能夠在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率三維形狀觀察，測(cè)量和粗糙度測(cè)量的模型。

主要特點(diǎn)

對(duì)比視力

這是一種觀察方法，其將光均勻地照射到樣品并捕獲透過(guò)樣品或從樣品反射的光。

這是常見(jiàn)的觀察方法，其中樣品透射或反射的差異在觀察到的圖像中提供對(duì)比度。

差分干擾

這是一種使用光的偏振和相干性來(lái)觀察樣品表面上通?？床坏降奈⑿∨_(tái)階的觀察方法。

通過(guò)使用棱鏡將照明光分成兩個(gè)橫向偏移的光束來(lái)照射樣品。當(dāng)拍攝從樣品直接反射的兩條光線之間的差異時(shí)，產(chǎn)生明暗對(duì)比度，并且可以在三維中觀察到微小步驟。

300毫米晶圓兼容

具有大行程平臺(tái)的顯微鏡，可以對(duì)300 mm晶圓進(jìn)行全面觀察。透射照明的組合還可以支持17英寸FPD檢測(cè)。

短波激光

通過(guò)使用波長(zhǎng)比可見(jiàn)光短的紫激光觀察，您可以獲得比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。

粗糙度測(cè)量

測(cè)量一行樣品表面的“線粗糙度測(cè)量”，可以測(cè)量整個(gè)表面的“表面粗糙度測(cè)量”。

類(lèi)似于接觸式表面粗糙度測(cè)量機(jī)和過(guò)濾器負(fù)載的校準(zhǔn)和表面粗糙度參數(shù)提供與傳統(tǒng)接觸式表面粗糙度測(cè)量機(jī)兼容的數(shù)據(jù)。此外，利用非接觸性能，可以測(cè)量難以接觸的軟樣品和粘性樣品的粗糙度。